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? 蔡司ZEISS掃描電鏡的SE探頭，5KV看到淺層電路，30KV看到深層電路，兩個(gè)圖像一目了然，可是為什么掃描電鏡?的SE探頭可以看到深層電路呢??
二次電子不是說小于10納米的淺層才能出射的嗎，難道加速電壓高了，有深層二次電子出射嗎?或者SE探頭接受的是BSE，所以才能看到深層電路?討論了一下，發(fā)現(xiàn)想解答清楚這個(gè)提問，SE、SE的探頭類型、BSE、BSE的探頭類型，這是一定要說的，然后會引出SE和BSE圖像的襯度問題，荷電問題...(這里就要麻煩啦...電荷不存在了，正荷電、負(fù)荷電怎么解釋?)談到荷電必然引出鍍膜、低真空(包括低真空探頭等)，跟著是In-Beam SE探頭、In-Beam BSE探頭，減速技術(shù)等，最后是復(fù)雜的In-Beam SE探頭接受SE和BSE像…如果都說完了，好像掃描電鏡成像就基本講完了，這篇幅也太大。沒辦法這次先填第一個(gè)，介紹一下SE，以后爭取再一一解答。二次電子(Secondary Electron)是吸收能量后激發(fā)的樣品原子核外的電子，一般認(rèn)為能量小于50eV，出射深度只有10納米。
二次電子的產(chǎn)率與電子束入射角度相關(guān)，對原子序數(shù)不敏感，其實(shí)二次電子對原子序數(shù)20以前的還是敏感的。
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